发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPS58119331(A) 申请公布日期 1983.07.15
申请号 JP19810210739 申请日期 1981.12.30
申请人 KONISHIROKU SHASHIN KOGYO KK 发明人 NISHIWAKI AKIRA;MITSUTAKE HITOSHI;MOROHOSHI YASUO;KANAZAWA HIDEYUKI;MORIGUCHI HIROYUKI
分类号 C23C14/24;B01J19/00;G03G5/082 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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