| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58118157(A) |
申请公布日期 |
1983.07.14 |
| 申请号 |
JP19820183014 |
申请日期 |
1982.10.20 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
ROBAATO CHIYAARUZU DOTSUKAATEI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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