| 发明名称 |
A thermal processing system for semiconductors and other materials using two or more electron beams |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2112205(A) |
申请公布日期 |
1983.07.13 |
| 申请号 |
GB19820022309 |
申请日期 |
1982.05.26 |
| 申请人 |
HAROON * AHMED;RICHARD ANTHONY * MCMAHON |
发明人 |
HAROON * AHMED;RICHARD ANTHONY * MCMAHON |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/47 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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