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发明名称
AUTOMATIC BEAM CORRECTION IN A SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
GB2059120(B)
申请公布日期
1983.07.13
申请号
GB19800028209
申请日期
1980.09.01
申请人
PHILIPS NV
发明人
分类号
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/244;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26;H01J37/28
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
地址
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