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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58117698(A) 申请公布日期 1983.07.13
申请号 JP19820000103 申请日期 1982.01.05
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KAGEYAMA KATSUHIRO
分类号 H05H1/16;H05H1/14 主分类号 H05H1/16
代理机构 代理人
主权项
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