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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS58116718(A) 申请公布日期 1983.07.12
申请号 JP19810214370 申请日期 1981.12.29
申请人 ROOMU KK 发明人 TANIMOTO KATSUMI
分类号 H01L21/68;H01L21/02;(IPC1-7):01L21/02 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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