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发明名称 MASTER SLICE LSI
摘要
申请公布号 JPS58116757(A) 申请公布日期 1983.07.12
申请号 JP19810211551 申请日期 1981.12.30
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 YABE MASASHI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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