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发明名称 GAS SUPPLY DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58115812(A) 申请公布日期 1983.07.09
申请号 JP19810211232 申请日期 1981.12.28
申请人 FUJITSU KK 发明人 TAKASAKI KANETAKE
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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