| 发明名称 |
PREPARATION OF AMORPHOUS SILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58115020(A) |
申请公布日期 |
1983.07.08 |
| 申请号 |
JP19810214629 |
申请日期 |
1981.12.28 |
| 申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
KOJIMA YOSHIMI;EBARA SHIYOU;IMADA EIJI;MATSUYAMA TOSHIROU |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/32;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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