| 发明名称 |
DISPOSITIF DE LIMITATION ET DE CONTROLE DE LA TEMPERATURE D'UNE CIBLE REPOSANT SUR UN SUPPORT DANS UNE ENCEINTE SOUS VIDE ET RECEVANT UN FAISCEAU D'ENERGIE ET SON APPLICATION A DES MESURES THERMIQUES |
| 摘要 |
<P>DISPOSITIF DE LIMITATION ET DE CONTROLE DE LA TEMPERATURE D'UNE CIBLE 6 REPOSANT SUR UN SUPPORT 5 DANS UNE ENCEINTE SOUS VIDE ET SOUMISE A UN BOMBARDEMENT DE PARTICULES ENERGETIQUES.</P><P>IL COMPREND, INSEREE ENTRE LE SUPPORT ET LA CIBLE, UNE MEMBRANE 1 DEFORMABLE, PREFORMEE POUR S'APPLIQUER PARFAITEMENT SUR LA FACE ARRIERE DE LA CIBLE 6 DE FACON A EMPRISONNER, DANS L'ESPACE COMPRIS ENTRE LE SUPPORT 5 ET LA MEMBRANE 1, UN FLUIDE GONFLE A UNE PRESSION INTERNE ASSURANT UN CONTACT INTIME ENTRE LA MEMBRANE ET LA CIBLE ET ASSURANT LE TRANSFERT DE CHALEUR DE LA MEMBRANE AU SUPPORT.</P>
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| 申请公布号 |
FR2519437(A1) |
申请公布日期 |
1983.07.08 |
| 申请号 |
FR19820000017 |
申请日期 |
1982.01.04 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MICHEL BRUEL ET ALAIN SOUBIE |
| 分类号 |
C23C14/34;G05D23/01;G05D23/19;H01L23/427;(IPC1-7):05D23/01;30B31/22 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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