| 发明名称 |
PARALLEL CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE SYSTEM. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0069728(A4) |
申请公布日期 |
1983.07.08 |
| 申请号 |
EP19810901109 |
申请日期 |
1981.04.10 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
WESTERBERG, EUGENE R.;BRODIE, IVOR |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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