| 发明名称 |
PROJECTION TYPE EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58112330(A) |
申请公布日期 |
1983.07.04 |
| 申请号 |
JP19810214795 |
申请日期 |
1981.12.25 |
| 申请人 |
NIHON KOUGAKU KOGYO KK |
发明人 |
UEHARA MAKOTO;ANZAI AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/30;G01B11/00;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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