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发明名称
METHOD OF FORMING FILM OF FLUOROALKYL ACRYLATE POLYMER ON SURFACE OF BASE BODY
摘要
申请公布号
JPS58112078(A)
申请公布日期
1983.07.04
申请号
JP19810212731
申请日期
1981.12.26
申请人
DAIKIN KOGYO KK
发明人
FUJII TSUNEO
分类号
G03C1/74;B05D7/24;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03C1/74
代理机构
代理人
主权项
地址
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