发明名称 PROCESS OF FORMING ELECTRODE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58112336(A) 申请公布日期 1983.07.04
申请号 JP19810212294 申请日期 1981.12.25
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 NARA AIICHIROU
分类号 H01L21/52;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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