| 发明名称 |
IMPROVED MANUFACTURE OF ELEMENTARY SILICON BY SILANE DECOMPOSITION AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58110413(A) |
申请公布日期 |
1983.07.01 |
| 申请号 |
JP19820146760 |
申请日期 |
1982.08.24 |
| 申请人 |
EAGLE PICHER IND INC |
发明人 |
JIYOO EMU UOOKAA;TOOMASU EMU POTSUTSU |
| 分类号 |
C01B33/02;B01D53/02;C01B33/029;C01B33/04;H01L21/205 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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