WERKWIJZE VOOR HET ONDERZOEKEN VAN EEN VERZAMELING IDENTIEKE SAMENGESTELDE PATRONEN OP EEN GEMEENSCHAPPELIJKE DRAGER.

摘要

In an automated inspection procedure, corresponding elements from all the patterns lying along a row of a replicated-pattern mask or wafer are successively imaged onto a storage medium in an interleaved way. At the completion of an inspection cycle, sets of corresponding elements from all the patterns in the row are respectively arrayed in the storage medium in a side-by-side fashion.