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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUM-PLANARBAUELEMENTEN MIT GERINGEN OBERFLAECHENZUSTANDSDICHTEN
摘要
申请公布号 DD160381(A3) 申请公布日期 1983.06.29
申请号 DD19770202904 申请日期 1977.12.23
申请人 EHWALD,KARL-ERNST,DD;PILATZEK,MICHAEL,DD;RAUSCH,BODO,DD 发明人 EHWALD,KARL-ERNST,DD;PILATZEK,MICHAEL,DD;RAUSCH,BODO,DD
分类号 H01L21/223;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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