| 发明名称 |
ASYMMETRICALLY CONTOURING THE THICKNESS OF SPUTTER COATED LAYERS E G PRIOR TO ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2111085(A) |
申请公布日期 |
1983.06.29 |
| 申请号 |
GB19820033050 |
申请日期 |
1982.11.19 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
FREDERICK THOMAS * TURNER |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/04;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C15/00;C23F1/02 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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