发明名称 PRODUCTION OF INTEGRATED MOS CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB2053565(B) 申请公布日期 1983.06.29
申请号 GB19800018218 申请日期 1980.06.04
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H01L27/088;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8234;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L27/04 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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