| 发明名称 |
FORMATION OF HIGH POLYMER FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58108205(A) |
申请公布日期 |
1983.06.28 |
| 申请号 |
JP19810207852 |
申请日期 |
1981.12.22 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
KITAMURA TATEO;YONEDA YASUHIRO;MIYAGAWA MASASHI |
| 分类号 |
C08F2/00;C08F2/52;C08G85/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
C08F2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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