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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM PATTERNING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS58108741(A)
申请公布日期
1983.06.28
申请号
JP19810207096
申请日期
1981.12.23
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
NAKAMURA KAZUMITSU
分类号
H01L21/027;H01J37/317
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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