发明名称
摘要
申请公布号 JPS5829617(B2) 申请公布日期 1983.06.23
申请号 JP19800044186 申请日期 1980.04.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWASE NOBUO;AIGO MASAYOSHI
分类号 C03B20/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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