发明名称 Method for sputtering niobium or tantalum thin films
摘要
申请公布号 US3271285(A) 申请公布日期 1966.09.06
申请号 US19630316917 申请日期 1963.10.17
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 SKODA RAYMOND E.
分类号 C23C14/18;C23C14/34 主分类号 C23C14/18
代理机构 代理人
主权项
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