发明名称
摘要
申请公布号 JPS5829510(B2) 申请公布日期 1983.06.23
申请号 JP19730090483 申请日期 1973.08.14
申请人 TORAY INDUSTRIES 发明人 FUSAYAMA TAKEO;KOSUGE KAZUHIKO;HAYASHI KENJI;YOSHIMURA TADASHI
分类号 C23C14/06;C23C14/20;G03G5/08;G03G5/14;H01L31/08 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址