| 发明名称 |
Method of making semiconductor integrated circuit elements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3290753(A) |
申请公布日期 |
1966.12.13 |
| 申请号 |
US19630302966 |
申请日期 |
1963.08.19 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED |
发明人 |
CHANG JOSEPH J. |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/762;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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