发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS62286707(A) 申请公布日期 1987.12.12
申请号 JP19860130644 申请日期 1986.06.05
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUDA SHIGERU
分类号 H01L21/301;B24B7/00;B28D5/00;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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