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发明名称
摘要
申请公布号 FR2441271(B1) 申请公布日期 1983.06.17
申请号 FR19790027649 申请日期 1979.11.09
申请人 ITT INDUSTRIES 发明人
分类号 C23C16/18;C23C16/42;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/72 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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