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发明名称 ELECTRO-OPTICAL TARGET FOR AN OPTICAL ALIGNMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 GB2049335(B) 申请公布日期 1983.06.15
申请号 GB19800007183 申请日期 1980.03.03
申请人 CUMMINS ENGINE CO INC 发明人
分类号 G01M11/00;G01B11/00;G01B11/26;G01B11/27;G01C15/00;G01S17/74;(IPC1-7):G01S5/16 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
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