| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5898934(A) |
申请公布日期 |
1983.06.13 |
| 申请号 |
JP19810198116 |
申请日期 |
1981.12.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK |
发明人 |
MAYUMI SHIYUUICHI;ASAHI KUNIHIKO;KAMEI ICHIZOU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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