发明名称 |
DURCH LASER ANGEREGTER PHOTOELEKTRONENGENERATOR HOHER STROMDICHTE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3241766(A1) |
申请公布日期 |
1983.06.09 |
申请号 |
DE19823241766 |
申请日期 |
1982.11.11 |
申请人 |
THERMO ELECTRON CORP. |
发明人 |
LEE,CHUNGHSIN;E. OETTINGER,PETER |
分类号 |
H01J37/075;H01J1/34;H01J9/12;H01J37/073;H01J37/317;H01L21/027;H01S3/00;(IPC1-7):H01J3/02 |
主分类号 |
H01J37/075 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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