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发明名称 VERFAHREN ZUM AUSBILDEN VON SUBMIKROMETER-MERKMALEN IN HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE3245276(A1) 申请公布日期 1983.06.09
申请号 DE19823245276 申请日期 1982.12.07
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 KINSBRON,ELIEZER;THOMAS LYNCH,WILLIAM
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/3213;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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