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发明名称 METHOD OF DETERMINING SEMICONDUCTOR MATERIAL PARAMETERS
摘要
申请公布号 SU936751(A1) 申请公布日期 1983.06.07
申请号 SU19803216270 申请日期 1980.12.12
申请人 ZHMUD A.M.,SU;KRAVCHENKO A.F.,SU;SAVCHENKO A.P.,SU;TEREKHOV A.S.,SU 发明人 ZHMUD A.M.,SU;KRAVCHENKO A.F.,SU;SAVCHENKO A.P.,SU;TEREKHOV A.S.,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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