发明名称 METHOD OF PRODUCING TRANSPARENT ELECTRODE AND DEVICE FOR PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 JPS5894703(A) 申请公布日期 1983.06.06
申请号 JP19810193289 申请日期 1981.11.30
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 CHIKAMURA TAKAO;YANO KOUSAKU;MIYATA YUTAKA;OOTA YOSHIO;FUJIWARA SHINJI
分类号 C23C14/54;C03C17/23;C23C14/34;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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