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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5826825(B2)
申请公布日期
1983.06.06
申请号
JP19780500158
申请日期
1978.11.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/30;G03F7/20;G21K5/02
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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