发明名称 DEVELOPER FOR FORMING MICRO-PATTERNS
摘要
申请公布号 GB8311675(D0) 申请公布日期 1983.06.02
申请号 GB19830011675 申请日期 1983.04.28
申请人 TOYO SODA MFG CO LTD 发明人
分类号 G03F7/26;G03F7/016;G03F7/038;G03F7/32;(IPC1-7):G03C5/24 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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