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发明名称 DEVICE FOR CLAMPING SEMICONDUCTOR WAFER DRIVEN BY HYDRAULIC PRESSURE
摘要
申请公布号 JPS5893247(A) 申请公布日期 1983.06.02
申请号 JP19820203835 申请日期 1982.11.22
申请人 VARIAN ASSOC 发明人 ROBAATO BIRINGUZU BURAMUHOORU JIYUNIA;NOOMAN REONAADO TAANAA
分类号 H01L21/683;H01L21/673 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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