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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5826175(B2) 申请公布日期 1983.06.01
申请号 JP19750042482 申请日期 1975.04.08
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 YAMADA AYAO
分类号 H01L21/60;H05K3/34 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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