| 发明名称 |
RADIO WAVE FREQUENCY ETCHING TABLE WITH BIASED STRETCHABLE MEMBER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5889826(A) |
申请公布日期 |
1983.05.28 |
| 申请号 |
JP19820197863 |
申请日期 |
1982.11.12 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC |
发明人 |
DEIBIDO JIEIMUSU HARA;FUREDERITSUKU TOOMASU TAANAA |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
