发明名称 DEVICE FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT CHIP
摘要
申请公布号 JPS5889838(A) 申请公布日期 1983.05.28
申请号 JP19820195421 申请日期 1982.11.09
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 EDOWAADO DEII URUFU;FUEIKU SHINASHI OZUDEMIIRU
分类号 G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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