| 发明名称 |
PROCESS FOR IMPURITY DIFFUSION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5888114(A) |
申请公布日期 |
1983.05.26 |
| 申请号 |
JP19810183833 |
申请日期 |
1981.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
YAGI KUNIHIRO;MATSUDA MASATOSHI;HAYASHI KUNIO;TAMURA HIROSHI;WADA MINORU;HASHIMOTO TETSUKAZU |
| 分类号 |
C01B33/02;H01L21/205;H01L21/22 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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