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发明名称 AUSRICHTGERAET
摘要
申请公布号 DE3242002(A1) 申请公布日期 1983.05.26
申请号 DE19823242002 申请日期 1982.11.12
申请人 CANON K.K. 发明人 TOTSUKA,MASAO;SUZUKI,AKIYOSHI
分类号 H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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