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发明名称
MICROWAVE PLASMA ION SOURCE
摘要
申请公布号
GB2053559(B)
申请公布日期
1983.05.25
申请号
GB19800018152
申请日期
1980.06.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
分类号
H01J27/02;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/09;(IPC1-7):H01J3/04
主分类号
H01J27/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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