| 发明名称 |
APPARATUS FOR REGULATING SUBSTRATE TEMPERATURE IN A CONTINUOUS PLASMA DEPOSITION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0060627(A3) |
申请公布日期 |
1983.05.25 |
| 申请号 |
EP19820300919 |
申请日期 |
1982.02.23 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC. |
发明人 |
EDGERTON, ROBERT F. |
| 分类号 |
H01L21/677;C23C16/48;C23C16/54;F26B3/30;F26B21/14;F27B9/26;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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