发明名称
摘要
申请公布号 JPS5877041(U) 申请公布日期 1983.05.24
申请号 JP19810171641U 申请日期 1981.11.18
申请人 发明人
分类号 F17C7/00;F17C7/04;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 F17C7/00
代理机构 代理人
主权项
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