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发明名称 ABSTANDHALTER ZUM VERHINDERN VON KURZSCHLUESSEN ZWISCHEN LEITENDEN PLATTEN IN HF-PLASMAABSCHEIDUNGSSYSTEMEN
摘要
申请公布号 DE3235504(A1) 申请公布日期 1983.05.19
申请号 DE19823235504 申请日期 1982.09.24
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA,INC. 发明人 S. ROSLER,RICHARD;M. ENGLE,GEORG
分类号 B01J19/08;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20;H05H1/46 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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