发明名称
摘要
申请公布号 JPS5824008(B2) 申请公布日期 1983.05.18
申请号 JP19780123331 申请日期 1978.10.06
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 YUASA TETSUO
分类号 H01J37/305;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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