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摘要
申请公布号
JPS5824008(B2)
申请公布日期
1983.05.18
申请号
JP19780123331
申请日期
1978.10.06
申请人
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB
发明人
YUASA TETSUO
分类号
H01J37/305;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01J37/305
代理机构
代理人
主权项
地址
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