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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5823937(B2) 申请公布日期 1983.05.18
申请号 JP19760003663 申请日期 1976.01.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OONO KATSUHIRO
分类号 G01N27/20;H01L21/66 主分类号 G01N27/20
代理机构 代理人
主权项
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