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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5823925(B2)	申请公布日期	1983.05.18
申请号	JP19770005960	申请日期	1977.01.24
申请人	HITACHI LTD	发明人	FUKAMI SHIGETOSHI
分类号	H05B3/62;F27D1/00;H01L21/22	主分类号	H05B3/62
代理机构		代理人
主权项
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