| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von duennen Schichten mit hoher Reinheit und Gleichmaessigkeit, durch Vakuumaufdampfen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1285827(B) |
申请公布日期 |
1968.12.19 |
| 申请号 |
DE196400J5516 |
申请日期 |
1964.03.24 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
LELAND CASWELL, HOLLIS |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/58;H01B1/02;H01L39/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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