| 发明名称 |
METHOD FOR DEFINING SUBMICRON FEATURES IN SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2108759(A) |
申请公布日期 |
1983.05.18 |
| 申请号 |
GB19820030444 |
申请日期 |
1982.10.25 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
RAFAEL MATITYAHU * LEVIN |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/47;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/46 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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